Rasterelektronenmikroskopie
Als Rasterelektronenmikroskop (REM) (englisch "Scanning Electron Microscope" (SEM)) bezeichnet man ein Elektronenmikroskop, bei dem ein Elektronenstrahl in einem bestimmten Muster über das vergrößert abzubildende Objekt geführt (gerastert) wird und Wechselwirkungen der Elektronen mit dem Objekt zur Erzeugung eines Bildes des Objekts genutzt werden. Die mit einem Rasterelektronenmikroskop erzeugten Bilder sind Abbildungen der Objektoberflächen und weisen eine hohe Schärfentiefe auf. Der maximale theoretische Vergrößerungsfaktor liegt etwa bei ca. 1.000.000:1.
(de.wikipedia.org)
Unsere Ausstattung umfasst
- JEOL JSM-6490 Rasterelektronenmikroskop mit W-Haarnadelkathode und großer Probenkammer
(Anschaffung: März 2008)- Auflösung (Spezifikation): 3 nm (30 kV), 15 nm (1 kV)
- Vergrößerung laut Spezifikation bis zu 300.000
- Zusätzliche Ausstattung:
- EDX: Oxford Inca Energy 350 Advance für qualitative bis semi-quantitative chemische Analysen, Elementverteilungsaufnahmen und Linienprofile
- EBSD: kristallographische Phasenanalyse, Textur- und Orietierungsbestimmungen
- UMHT (Ultramikrohärtetester): Kammrath & Weiss, Maximallast 0,02
- JEOL JSM-7600F hochauflösendes Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit thermischem Feldemitter, SE-Detektor, In-lens-SE-Detektor, Rückstreuelektronendetektor und gentle-beam-System für die Untersuchung nicht leitender Proben
(Anschaffung: Juni 2008 )- Auflösung (Spezifikation): 1.0 nm (15 kV), 1,4 nm (1 kV)
- Vergrößerung laut Spezifikation bis zu 1.000.0000
- Zusätzliche Ausstattung:
- EDX: Oxford Inca Energy 350 für chemische Standardanalysen, Aufnahme von Elementverteilungen und Linienprofilie
- WDX: Oxford Inca Wave 700 mit 6 Kristallen für quantitative chemische Analysen, auch für die quantitative Analyse von C und N geeignet
- EBSD: HKL Nordlys II mit forescatter-Detektoren für kristallographische Phasen-, Orientierungs- und Texturbestimmungen sowie Korngrößenermittlung
- REM-Präparation mit Kohlenstoff-Bedampfungsanlage und Au- und Pt-Sputter-Coater
- TEM-Präparations-Kette mit mechanischen Probendünnungsverfahren und Ionenätzanlage